AX10FD微小气体流量计    气体流量控制器   微小气体质量流量计   微小流量计    微小流量计厂家    西安微小流量计   质量流量控制器
AX10FD质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药、***和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
AX10FD微小流量计的主要参数：

1 量程范围 （20,30,50,100,200,300,500）SCCM（0~1,2,3,5,10） SLM

2 准确度 +1.5%F.S

3 线性 +0.5~1.5%F.S

4 重复精度 +0.2%F.S

5 响应时间 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec

6 工作压差 0.1~0.5MPa

7 耐压 3Mpa 6Mpa 10Mpa

8 工作环境温度 0~70℃

9 数字量 RS485 MODBUS协议

10 模拟量 DC0~5V，4~20mA可选

11 供电 DC+15V/24V可选，流量计＜50mA，控制器＜200mA

12 电气连接 DB15

13 漏率 1×10 -8SCCSHe

14 底座材质 316L不锈钢

15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

16 气路街头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)

标准状态规定为： 温度-----273.15K (0℃);

气压-----101325Pa （760mm Hg）

F.S(FullScale); 满量程值